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? 副室：主要是副室筒以及上下法兰组成

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上覆坩埚盖2的坩埚3，坩埚为钨坩埚，坩埚下面的支柱为钨支柱，为了保温坩埚盖2上覆保温屏9；单晶硅片由此进入生产流程：1、酸洗：使用稀HNO3,进行清洗，去除表面杂质及时产生的四硅。2、清洗：清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。3、单晶硅料烘干：去除水分。4、挑料：区分P型，N型硅料。5、配料：对拉晶的硅料型号进行匹配。6、单晶炉拉晶：7、硅棒检测：检查有无位错，棱线断等现象。8、断：将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9、包装：将断后的单晶硅棒进行包装，送下一道工序10、磨圆：将单晶硅棒四个直角进行磨 DM设备进行切割0.33mm。12、清洗：13、单晶硅片检测：单晶炉的结构单晶炉炉体（包括板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构）由304L不锈钢。