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所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。一、主炉体构造1、基座与板板设计成平板式,具有双层结构,通水冷却。四只电极穿过底板,在坩埚提升机构的波纹管连接处有一个水冷却法兰区。2、主、下炉室主、下炉室为双层筒状结构,两端为法兰结构,通水冷却,并有隔水条保冷却均匀。主炉室设置了一个测温计窗口,用于测量加热器温度。下炉室有抽真空和真空计接口(0~100Torr和0~1Torr)。下炉室在正常操作过程中始终用压板固定在板上,通过氟橡胶O型圈实现真空密封。3、炉盖炉盖为炉体和隔离阀座了一个过渡区。炉盖采用标准炉盖,双层通水冷却。在炉盖上设有一个操作者观察窗口(类椭圆形)和一个直径控制窗口(圆形)。感应炉,真空炉,电子束炉,热(或熔炼)机组,热辅助设备,燃烧炉三. 电阻炉:三大部件:加热器辊底炉) C. 工作区内力求温度均匀。
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目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动,又要上升运动,同时还要保持速度稳定,对中性好,不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化,为枝晶生长条件[1]。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料会严重地影响单晶体的内在品质。因此找出引起提拉系统软轴晃动。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,(4) 利用欧姆定律分析继电器判断是否动作:判别的依据是,电压型线圈的两端加有足够大的电压,电流型线圈的通过两端加有足够大的电流。对于电压型继电器的线圈回路,当线圈的两端通过若干个继电器的接点或电流线圈与分别电源的正,负极贯通,则认为继电器(接触器)动作(励磁),当回路中有短的接点,或线圈回路串接有比较大的电阻,或者线圈被并接的接点短接时,则认为继电器(接触器)不动作(不励磁)。